Spezialgase

Spezialgase sind in Hunderten ultrareiner und anwendungsspezifisch zusammengestellter Mischungen erhältlich. Sie werden in der Laborforschung sowie für die Kalibrierung wissenschaftlicher und medizinischer Instrumente verwendet. Viele hochreine Elektronik-Spezialgase kommen in der Halbleiter-Fertigung zum Einsatz.